General Description

FPD/OLED 부품 사업은 공정설비 챔버내 사용하는 Parts 제작, Re-Work 및 Anodizing 제품을 국내외 고객에 공급하고 있습니다. Dry Etch 및 PECVD 설비의 핵심 부품으로 Etch 공정의 상/하부 전극, PECVD 공정의 Susceptor,Diffuser,Shower Plate, Shadow Frame 등 고객만족을 위한 최상의 품질을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

Main Parts Items

CVD
Suceptor	Diffuser
Shadow Frame	Shower Plate

Etch
Upper Electrode	Bottom Electrode

The Merits of Our Products

Sub Products List

CVD (Golf Tee, Roller Bushing, Align Pin, Sapphire View Port, Etc)
Golf Tee
Sapphire	Etc

Etch (Shield Ring Normal & Hybrid Type, Shield Lower, Focus Ring, Gas Nozzle, Etc)
Shield Ring	Gas Nozzle

The Merits of Sub Products

ETC.

• 8G 까지 제작가능
• 고객사 요청에 의한 표면처리 & modify 가능