주로 CVD 공정 시 공정 배기 가스라인에 장착되어, Self Plasma를 일으켜서 배기 가스를 실시간 분석 하는 시스템 입니다.
프라임솔루션의 MPIA는 뛰어난 안정성 , 초소형 사이즈, 고감도 구현 등
한층 진보된 오염 방지 기술이 적용 되어 양산라인에 적용 중인 제품으로
어떠한 작업 현장에도 쉽게 설치할 수 있으며 관리가 용이한 장점 및 운영 SW(SCM)의 다양한 기능을 통한 사용자의 효과적인 공정 관리 가 가능한 제품입니다.
MPIA는 SCM S/W를 이용한 가스분석으로
수율 극대화와 장비 DOWN시간의 최소화를 가능하게 합니다.
차세대 SMART 센서, SPOES의 오염관련 문제를 해결한 MPIA 입니다.
Model | BitOn-5000 | BitOn-5000 | BitOn-5000 | BitOn-4500 BitOn-5000AD |
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Type | Normal | LP | HP | Discontinued |
Operation Pressure | 5mTorr ~ 10mTorr | 1mTorr ~ 10Torr | 3Torr ~ 10Torr | |
Application | TEOS ALD W Ti/TiN ACL SIO2 |
TEOS ALD W Ti/TiN ACL SIO2 |
TEOS ALD W Ti/TiN ACL SIO2 |
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Customer | Semiconductor & Display | |||
Sale | On Sale | On Sale | On Sale | End of sales |