SCM은 이종센서 통합 솔루션 입니다.
반도체,FPD, LED 산업군 등의 제조 공정시 공정 난이도의 증가로 인하여 현재 실시간 공정관리 에 활용 중인 FDC 시스템의 문제점을 보안 할 수 있는 제품으로서 실제 공정을 대변해 줄 수 있는 External 센서들의 추가 장착 및 이들의 통합 운영 을 통한 계측,진단 및 C2C & Tool Matching 기능을 제공 합니다.
다양한 데이터 Source로 부터 데이터를 취합하여 사용자에게 하나의 S/W Frame으로 공정통합관리, 운영 및 분석에 도움을 주는 통합운영솔루션입니다. 기존의 설비 데이터에 의존한 공정 관리에서 벗어나 실공정 상태를 보다 정밀하고 정확하게 파악하여 Faults Detection의 감도 증대, 공정 최적화 및 효율적인 설비 운용, 나아가 VM(Virtual Metrology)를 개발 및 적용을 통한 APC /AEC 를 구현 할 수 있는 솔루션 입니다 .
Toolbox Advantages
- 다양한 부품 모듈 통신 및 아날로그 취득 솔루션
- 설비 및 공정 데이터 취득( Recipe, Lot, Wafer, Step, Parameter)
- 다수의 External 센서 Integration 지원을 통한 활용
- 직관적인 다양한 분석 기능 – 통계, 다 변량, 공정 진단
- 설비 Smart화를 지원 설비 경쟁력 확보
Toolbox Characteristics
- 통합관리사용자는 하나의 GUI를 통해 다양한 센서의 데이터를 쉽고 빠르게 분석 관리 할 수 있습니다.
- Health Index Management장기간의 데이터를 몇 번의 클릭만으로도 공정관리에 영향을 끼친 Wafer 및 주원인 Parameters를 찾아 낼 수 있습니다.
Toolbox Supported Sensors
- VI Prove : RF plasma sensor - AE, Plasmart, ASE, Birds
- OES : Optical emission spectrometer - Ocean Optics, KSP, Photon, Avantes
- SPOES : Residual gas analyzer & Cleanning Optimization - MITS, Imagineering
- QMS-RGA : Quantitative mass spectrometry - EL
- Plasma Sensor : Plasma Status Monitoring - P&A Solution, Imagineering
Toolbox Application
| Type | Description | Available Sensor | Results |
|---|---|---|---|
| Chamber Recovery | After PM, Parts Installation Status | VI Probe | HW Recovery |
| Seasoning Optimize | OES/SPOES, VI probe | Process Recovery | |
| MTBC | ISD Cleaning optimize | OES,SPOES | Productivity |
| Parts Worn Out | VI probe | Productivity | |
| FD/FDC & EQ/Process Diagnose |
Insitu-Leak detection | OES,SPOES | Detect abnormal status |
| Process Health Index | EQ Data, OES/SPOES, VI Probe | Detect abnormal status |
Toolbox Development Load Map
